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等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范在經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)都有自己的標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí)。
例如:美國(guó)、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國(guó)于1984年頒布《設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。
GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級(jí)
等級(jí) |
每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) |
每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù) |
100 |
《35*100(〈3.5〉 |
|
1000 |
《35*1000(〈35〉 |
《250(〈0.25〉 |
10000 |
《35*10000(〈350〉 |
《2500(〈2.5〉 |
100000 |
《35*100000(〈3500〉 |
《25000(〈25〉 |
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)
等級(jí)名稱 |
等級(jí)限值 |
||||||||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
|||||||
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
|||||||
國(guó)際單位 |
英制 單位 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
M1.0 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10 |
0.283 |
/ |
/ |
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265.0 |
7.5 |
106 |
3 |
35.3 |
1 |
/ |
/ |
M2.0 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
/ |
/ |
M2.5 |
10 |
12400 |
350.0 |
2650 |
75 |
1060 |
30 |
353 |
10 |
/ |
/ |
M3.0 |
|
35000 |
991.0 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
/ |
/ |
M3.5 |
100 |
/ |
/ |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
/ |
/ |
M4.0 |
|
/ |
/ |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
/ |
/ |
M4.5 |
1000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
35300 |
1000 |
247 |
7 |
M5.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
M5.5 |
10000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
353000 |
10000 |
2470 |
70 |
M6.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
M6.5 |
100000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
M7.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級(jí)
生物 潔凈 室標(biāo)準(zhǔn) |
塵埃 |
生物粒子 |
壓力 |
溫度 |
濕度 |
氣流 |
照度 |
||
粒徑 (μm) |
個(gè)/L |
浮游量 (個(gè)/L) |
浮沉量 (個(gè)/m2周) |
mmH2O |
℃ |
% |
換氣 次數(shù) |
Lx |
|
100 |
≥0.5 |
≤3.5 |
≤0.0035 |
12900 |
≥1.25 |
指定數(shù) |
40~45 |
|
1000~1620 |
10000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤350 ≤2.3 |
≤0.0176 |
64600 |
≥1.25 |
|
|||
100000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤3500 ≤23 |
≤0.0884 |
323000 |
≥1.25 |
日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB-9920-1989中的潔凈度等級(jí)
粒徑(μm) |
潔凈度等級(jí)(個(gè)/m3) |
|||||||
1級(jí) |
2級(jí) |
3級(jí) |
4級(jí) |
5級(jí) |
6級(jí) |
7級(jí) |
8級(jí) |
|
0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
107 |
108 |
0.2 |
2 |
24 |
236 |
2360 |
23600 |
|
|
|
0.3 |
1 |
10 |
101 |
1010 |
10100 |
101000 |
1010000 |
10100000 |
0.5 |
0.35 |
3.5 |
35 |
350 |
3500 |
35000 |
350000 |
3500000 |
5.0 |
/ |
/ |
/ |
/ |
29 |
290 |
2900 |
29000 |