無(wú)塵室等級(jí)如何定義

無(wú)塵室的等級(jí)說(shuō)明

使用者在開(kāi)無(wú)塵室的等級(jí)給供貨商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。

首先是等級(jí)定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無(wú)塵室的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。這樣可以減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個(gè)粒徑。

第二個(gè)技巧是規(guī)定的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清楚知道無(wú)塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無(wú)塵室都很干凈，微粒控制能力測(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰Α?

以下兩個(gè)表是Fed-Std-209E的等級(jí)定義，和ISO-14644的等級(jí)定義。

Fed-Std-209E潔凈度定義

ISO classification number(N)	Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
ISO classification number(N)	0.1mm	0.2mm	0.3mm	0.5mm	1mm	5mm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level. Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒濃度，N是潔凈度，D是粒徑

比較以上兩表我們可看出

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